美國API激光干涉儀XD Laser 6D基本信息

來源：篤摯儀器（上海）有限公司 2025年05月16日 17:16

XD Laser 6D 激光干涉儀解析

一、核心優(yōu)勢

其突出特點是體積小巧、重量輕便，可直接安裝在機(jī)床導(dǎo)軌上，便于生產(chǎn)現(xiàn)場快速部署與調(diào)試，顯著提升操作便利性。

二、系統(tǒng)組成架構(gòu)

該儀器主要由穩(wěn)頻激光器、干涉鏡和 6D 傳感器組成。穩(wěn)頻激光器提供穩(wěn)定激光光源，為測量精度奠定基礎(chǔ)；干涉鏡對激光光束進(jìn)行干涉處理，形成可用于測量的干涉信號；6D 傳感器則是核心部件，集成分光、測長、測直線度、測角度等多重功能，實現(xiàn)多維測量。

三、工作原理詳解

穩(wěn)頻激光器發(fā)出的激光光束經(jīng)干涉鏡干涉后，進(jìn)入 6D 傳感器內(nèi)的分光鏡，被分為三束功能不同的光束：

第一束光（長度測量）：光束經(jīng)錐角反射棱鏡反射后，返回干涉儀與參考光束產(chǎn)生干涉并形成條紋。光學(xué)相位探測器識別條紋后，通過電子計數(shù)記錄精確長度位置，可實現(xiàn)微米級甚至納米級位移測量。
第二束光（直線度測量）：作為直線度測量的參考光束，構(gòu)建測量基準(zhǔn)。傳感器與參考光束的相對位移由傳感器內(nèi)的橫向光電二極管監(jiān)測，通過分析位移數(shù)據(jù)計算機(jī)床導(dǎo)軌的直線度誤差。
第三束光（角度測量）：為傳感器內(nèi)小型光電測角儀提供參考光源。測角儀通過檢測光束角度變化，實現(xiàn)對俯仰角和偏擺角的精確測量，捕捉機(jī)床運(yùn)動中的角度偏差。

四、應(yīng)用場景

在機(jī)床精度校準(zhǔn)中，可全面測量導(dǎo)軌的直線度、垂直度、俯仰角、偏擺角等參數(shù)，為精度調(diào)整提供數(shù)據(jù)支撐；適用于航空航天、精密模具、光學(xué)元件等高精度制造領(lǐng)域，確保零部件加工精度；還可通過定期測量，實時監(jiān)測機(jī)床等設(shè)備的精度變化趨勢，提前發(fā)現(xiàn)潛在故障，實現(xiàn)預(yù)防性維護(hù)。

五、技術(shù)特點總結(jié)

具備多維同步測量能力，可同時完成長度、直線度、角度（俯仰角、偏擺角）等 6 個維度的測量，大幅提高效率；基于激光干涉原理與先進(jìn)光電檢測技術(shù)，保障高精度與穩(wěn)定性；6D 傳感器集成多種測量功能，簡化系統(tǒng)結(jié)構(gòu)，降低安裝調(diào)試難度，提升數(shù)據(jù)關(guān)聯(lián)性與一致性。

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