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蒸發(fā)鍍膜儀的核心在于利用真空環(huán)境，降低材料的蒸發(fā)溫度，使其在相對較低的溫度下就能蒸發(fā)成氣態(tài)。這些氣態(tài)粒子在真空中擴散，當遇到溫度較低的基底時，便會在其表面凝結(jié)，逐漸形成一層均勻的薄膜。為了實現(xiàn)這一過程，通常配備有真空系統(tǒng)，以確保腔體內(nèi)達到足夠的真空度，減少氣體分子的干擾，從而保證薄膜的純度和質(zhì)量。
在加熱蒸發(fā)材料方面，常見的方式有電阻加熱、電子束加熱等。電阻加熱是通過電流流過特定的加熱元件，如鎢絲、鉬舟等，使其產(chǎn)生高溫，進而加熱蒸發(fā)材料。這種方式簡單易行，適用于多種材料的蒸發(fā)。而電子束加熱則是利用高能電子束直接轟擊蒸發(fā)材料，使其局部熔化并蒸發(fā)。電子束加熱具有能量集中、可準確控制等優(yōu)點，特別適用于高熔點材料的蒸發(fā)。
蒸發(fā)鍍膜儀的校準方法：
-真空度校準：
-使用標準的真空計對蒸發(fā)鍍膜儀的真空度進行校準。將標準真空計與鍍膜儀的真空系統(tǒng)連接，在相同的條件下(如相同的抽氣時間和功率等)，比較兩者的讀數(shù)。如果讀數(shù)存在差異，可以通過調(diào)整鍍膜儀上的真空度顯示參數(shù)，使其與標準真空計的讀數(shù)一致。
-對于一些高精度的蒸發(fā)鍍膜儀，可能需要定期將儀器送到專業(yè)的計量機構(gòu)進行真空度校準，以確保其準確性和可靠性。
-溫度校準：
-利用標準溫度計(如熱電偶或熱電阻溫度計)對蒸發(fā)源的溫度進行校準。將標準溫度計與蒸發(fā)源緊密接觸，設(shè)置不同的加熱溫度，比較標準溫度計的測量值與蒸發(fā)鍍膜儀顯示的蒸發(fā)源溫度。根據(jù)兩者之間的誤差，調(diào)整鍍膜儀的溫度控制參數(shù)，使顯示溫度與實際溫度相符。
-對于具有多個加熱區(qū)域的蒸發(fā)鍍膜儀，需要分別對每個加熱區(qū)域進行溫度校準，以確保各區(qū)域的溫度均勻性和準確性。
-膜厚控制校準：
-根據(jù)膜厚監(jiān)測系統(tǒng)的工作原理，選擇合適的校準方法。如果是通過光學原理監(jiān)測膜厚的設(shè)備，可以使用已知折射率和厚度的薄膜樣品進行校準。將樣品放入鍍膜儀中，設(shè)置不同的鍍膜參數(shù)，觀察膜厚監(jiān)測系統(tǒng)的顯示值與樣品實際厚度的差異，調(diào)整監(jiān)測系統(tǒng)的參數(shù)，使其能夠準確測量膜厚。
-對于采用重量法監(jiān)測膜厚的設(shè)備，可以使用精度較高的天平稱量鍍膜前后樣品的重量變化，計算出實際鍍膜厚度，并與膜厚監(jiān)測系統(tǒng)的顯示值進行對比和校準。
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