在半導體制造過程中,靜電是一個需要嚴格控制的因素,因為即使是微小的靜電放電也可能損壞敏感的電子元件或導致塵埃粒子吸附在晶圓表面,從而影響產品的成品率和可靠性。
在整個半導體制造過程中都會產生靜電荷,主要由不同材料的接觸和分離引起。靜電荷通過三種方式影響生產率和良率,靜電荷會靜電吸引(ESA)空氣中的顆粒,從而導致晶圓和光罩的潛在良率損失。
日本SIMCO思美高產品在半導體領域的應用主要集中在靜電控制和除靜電設備方面,以減少生產中的靜電和微粒對半導體制造過程的影響。SIMCO思美高的靜電控制和除靜電設備、離子棒和離子風機等設備通過電暈放電產生正負離子,中和空氣和工作表面的靜電荷,從而減少靜電吸附和放電對半導體制造過程的影響。
除靜電槍
TOP GUN3靜電消除槍
Top Gun3靜電消除槍是一款高性能靜電消除槍適用于各種應用。Top Gun的平衡電壓為 0±15V,具有高吹掃力和低耗氣量,可實現高效清潔和的靜電荷衰減。
特點:
可調節氣流的流量控制閥
集成、可更換的過濾噴嘴
巧、符合人體工程學的設計
電平衡離子輸出,配備電離指示燈
對于自動化裝配,配備光學傳感器的 Top Gun可在物體進入范圍時自動啟動噴槍。配備Sidekick的Top Gun可在裝配和制造過程中實現免提操作和靈活定位。腳踏板可同時控制電離和氣流,從而降低壓縮空氣成本并延長電離器的使用壽命。
Top Gun吹非常適合“使用點”電離。槍管輕巧且符合人體工程學,操作員可將其噴嘴直接對準最終電子裝配工位的目標。強大的吹氣力還能有效去除顆粒污染物。
AirForce 6115靜電吹塵槍
AirForce 6115型吹塵槍動力強勁,能夠有效去除顆粒污染物,是清潔工藝應用的理想之選。6115型吹塵槍是一款達到 ISO 14644-14級清潔度標準的吹塵槍產品。穩態直流離子發射可提供高效電離,平均放電時間小于1.0秒。
特點:
ISO 14644-14級清潔度操作
帶有一體式低壓電源線的靈活、輕便的空氣軟管
符合人體工程學的噴槍設計,采用耐用的靜電耗散材料
強勁的吹脫力,可更換的發射點組件和快速彈出過濾器
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