壓力傳感器基本特性的研究誤差分析

1、偏移量誤差由于壓力傳感器在整個壓力范圍內垂直偏移保持恒定，因此變換器擴散和激光調節修正的變化將產生偏移量誤差。

　　2、靈敏度誤差產生誤差大小與壓力成正比。如果設備的靈敏度高于典型值，靈敏度誤差將是壓力的遞增函數。如果靈敏度低于典型值，那么靈敏度誤差將是壓力的遞減函數。該誤差的產生原因在于擴散過程的變化。

　　3、線性誤差這是一個對壓力傳感器初始誤差影響較小的因素，該誤差的產生原因在于硅片的物理非線性，但對于帶放大器的傳感器，還應包括放大器的非線性。線性誤差曲線可以是凹形曲線，也可以是凸形曲線。

　　4、滯后誤差在大多數情形中，壓力傳感器的滯后誤差可以忽略不計，因為硅片具有很高的機械剛度。一般只需在壓力變化很大的情形中考慮滯后誤差。

　　壓力傳感器的這個四個誤差是無法避免的，我們只能選擇高精度的生產設備，利用來降低這些誤差，還可以在出廠的時候進行的誤差校準，盡的可能來降低誤差。