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拋光液檢測儀是一種用于分析拋光液中顆粒粒度及分布、濃度等參數的精密儀器，在半導體制造、材料加工等領域應用廣泛。其工作原理多樣，部分采用動態光散射原理，粒徑檢測范圍可達0.3nm-10μm，能分析多組分、粒徑分布不均勻的液態分散體系；還有運用光阻法單顆粒光學傳感技術（SPOS）的，將光消減和光散射結合，可獲得較大動態粒徑范圍并增加對小粒子的靈敏度。
拋光液檢測儀的特點主要體現在以下幾個方面：
1、技術原理與檢測精度
高精度測量技術：采用光阻法單顆粒光學傳感技術（SPOS），可對粒子樣本進行粒徑測試并計數，一次檢測一個粒子，構建真實的粒徑分布。
稱重與干燥系統精準：配備高精度稱重系統，搭配環形石英鎢鹵紅外線加熱源，能快速均勻地干燥樣品，檢測結果與國標烘箱法一致性良好，可替代傳統烘箱法，且檢測效率更高。
2、功能與操作便利性
功能集成度高：內置操作系統和微型打印機，無需外接電腦和打印機即可直接測試和打印；帶有標準串行RS232口，可外接計算機存儲檢測結果，方便數據分類、檢索。
操作簡便快捷：無需安裝、調試，拆箱即可使用；無需培訓，操作簡單，省卻繁瑣步驟；測定時間短，一般樣品3-5分鐘即可完成測定，工作效率高。
自動化程度高：全自動測定，測量完畢報警提醒，測定過程無需看管。
3、適用性與穩定性
適用范圍廣：可應用于食品類牛奶、冰激凌及化工淤泥、泥漿、油漆、膠水、漿料、乳化瀝青等各種液體、糊狀樣品的固含量值檢測，也能用于金剛石拋光液、氧化硅拋光液、氧化鈰拋光液、氧化鋁拋光液、碳化硅拋光液等的濃度波美度值測量。
穩定性強：性能穩定，能在多種環境條件下可靠工作，保證檢測結果的準確性和重復性。
4、數據傳輸與處理
實時數據傳輸：部分儀器支持數據自動保存，可生成歷史數據曲線，方便查詢和溯源，數據保存周期可達12個月。
遠程監控與分析：支持通過無線遠傳功能將數據實時遠傳至PLC、PC、DCS等上位機系統，便于用戶遠程查看實時狀態與報警，實現對生產過程的實時監控和數據分析。
5、維護與耐用性
免維護或低維護：一些儀器具有即插即用、免維護的特點，安裝方式靈活，體積小巧，可選卡箍/法蘭/螺紋安裝等，且出廠附帶標定證書，無需現場校準，也不需要定期校準，降低維護成本和工作量。
材質優良耐用：關鍵部位采用哈氏合金、316L、PTFT等材質，耐腐蝕、耐高溫、耐高壓，使用壽命長，能適應各種復雜的工作環境。
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