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半導體級硫酸金屬納米顆粒檢測—珀金埃爾默耗材的關鍵力量

來源：珀金埃爾默企業管理（上海）有限公司 2025年06月18日 11:43

在半導體制造領域，硫酸作為一種常用的工藝化學品，其純度對半導體產品的性能和質量起著決定性作用。哪怕是極其微量的金屬納米顆粒雜質，都可能在半導體的微觀結構中引發連鎖反應，影響電子遷移率、擊穿電壓等關鍵參數，進而降低芯片的性能、可靠性，甚至導致產品直接報廢，這對于追求高精度、高產出的半導體產業而言，無疑是巨大的挑戰。

正因如此，精準檢測半導體級硫酸中的金屬納米顆粒成為了行業焦點。今天，我們將深入剖析使用NexION 5000 SP-ICP-MS進行此項檢測的實驗過程，尤其聚焦其中耗材產品發揮的關鍵作用，為相關從業者和技術愛好者揭開高效檢測的奧秘。

珀金埃爾默NexION 5000 ICP-MS

實驗的主角是珀金埃爾默電感耦合等離子體質譜(ICP-MS)作為一種多元素檢測技術，具有：

靈敏度高

樣品類型靈活(氣體、液體和固體)

測量速度快

線性動態范圍寬等優點

搭配的PFA（聚全氟乙丙烯）材質部件，如0.25mm×80cm的管路，憑借良好的化學穩定性，在傳輸樣品時，既不與硫酸發生反應，保證了樣品的原始性，又能耐受強酸腐蝕，延長了使用壽命，是整個實驗的 “穩定后盾”。而Santoprene材質的1.30mm部件，以其出色的柔韌性和密封性，保障了儀器內部氣路、液路的穩定，確保實驗順利進行。

檢測過程中涉及的

耗材產品信息請參考下表：

（點擊查看大圖）

在半導體級硫酸金屬納米顆粒檢測實驗中，珀金埃爾默的這些耗材緊密協作，從樣品傳輸、溶液配制到儀器校準，每個環節都至關重要。它們不僅是實驗成功的保障，更為半導體行業的質量控制提供了有力支持。

歡迎點擊文末閱讀原文獲取完整資料

正品耗材，安心之選

使用非正品可能導致儀器性能下滑甚至損壞，造成不必要的損失。請認準珀金埃爾默官方渠道，購買帶有防偽標簽的正品耗材，為你的實驗結果上保險！

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