相較于傳統的被動隔振方案,主動隔振平臺具有很大的優勢。它不僅能夠有效隔離來自地面或周邊設備的振動,還能應對高頻、低幅等復雜振動環境,確保精密設備在*端條件下也能保持平穩運行。此外,該產品還具備智能調節功能,可根據設備的工作狀態和外部環境的變化,自動調整隔振參數,實現優化的振動控制效果。廣泛應用于半導體制造、精密機械加工、光學儀器檢測、生物醫療實驗等高精密要求的場景中,為設備的穩定運行提供堅實保障。
使用主動隔振平臺的意義有:
1、從<1Hz開始強烈消除地面震動,氣動平臺在這一低頻處無法起到有效的隔振
2、提高質量、生產量
3、更加細小特色的成像能力
4、前沿研究
5、比氣動平臺更穩定
6、滿足SEM標準地點安裝參數的解決方案
7、使得新實驗室及研究設備的工程造價更低
特點:
1、寬頻隔振:可在1.0Hz~200Hz范圍內有效工作,覆蓋低頻至高頻振動。
2、高精度控制:通過閉環反饋系統實現毫秒級響應,振動傳遞率顯著降低。
3、多自由度控制:可消除多個自由度方向的振動,適用于復雜環境。
4、穩定性與靈活性:具備自動調節水平功能,適應不同實驗需求。
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