手機(jī)版
化工儀器網(wǎng)手機(jī)版
化工儀器網(wǎng)小程序
官方微信
掃碼關(guān)注視頻號
納米激光光刻系統(tǒng)是微納加工的核心設(shè)備，可實(shí)現(xiàn)高精度圖形直寫。以下是其標(biāo)準(zhǔn)化操作流程：
一、系統(tǒng)啟動(dòng)與準(zhǔn)備工作
1. 環(huán)境準(zhǔn)備
- 潔凈度：確保操作間達(dá)到Class 1000及以上潔凈標(biāo)準(zhǔn)，溫濕度控制在20±1℃、40-60%RH。
- 設(shè)備自檢：開啟主控計(jì)算機(jī)與激光光源，運(yùn)行系統(tǒng)診斷程序，檢查光束偏振態(tài)、光強(qiáng)穩(wěn)定性(波動(dòng)<5%)及XYθ運(yùn)動(dòng)臺定位精度(重復(fù)性≤±1μm)。
2. 參數(shù)預(yù)設(shè)
- 加載圖形文件：將設(shè)計(jì)好的圖形(GDSII/DXF格式)導(dǎo)入控制軟件，設(shè)置曝光路徑規(guī)劃(蛇形/環(huán)形掃描)與劑量補(bǔ)償參數(shù)。
- 激光參數(shù)初始化：根據(jù)光刻膠特性選擇波長(如355nm/405nm紫外激光)，設(shè)定基礎(chǔ)功率(1-10mW)、脈沖寬度(10-100ns)及掃描速度(10-100μm/s)。
二、基片預(yù)處理與涂膠
1. 基片清洗
- 超聲清洗：依次使用丙酮、異丙醇、去離子水各超聲10分鐘，氮?dú)獯蹈伞?/div>
- 氧等離子體處理：功率100W處理30秒，增強(qiáng)表面親水性。
2. 光刻膠涂覆
- 旋涂工藝：正膠(如AR-P 5350)以3000rpm旋涂60秒，膠厚通過轉(zhuǎn)速-粘度曲線控制(典型值50-200nm)。
- 前烘：90℃熱板烘烤60秒，揮發(fā)溶劑并提升粘附力。
三、曝光對準(zhǔn)與圖形寫入
1. 定位與調(diào)焦
- 標(biāo)記識別：使用紅外CCD攝像頭采集基片對準(zhǔn)標(biāo)記，機(jī)械對準(zhǔn)誤差<±1μm。
- 自動(dòng)調(diào)焦：通過激光反射強(qiáng)度反饋調(diào)整物鏡位置，確保焦點(diǎn)位于光刻膠表面±50nm。
2. 曝光執(zhí)行
- 劑量測試：選取測試區(qū)域進(jìn)行階梯曝光(劑量梯度5-30mJ/cm²)，顯影后測定最佳曝光量。
- 動(dòng)態(tài)調(diào)參：曝光過程中實(shí)時(shí)監(jiān)測光束能量波動(dòng)，閉環(huán)反饋調(diào)節(jié)激光功率，維持線寬一致性(3σ≤5%)。
四、顯影與后處理
1. 顯影控制
- 顯影液配制：AZ 726 MIF顯影液按1:4稀釋，溫度20±0.5℃。
- 顯影操作：噴淋顯影30秒，輔以10秒輕柔晃動(dòng)，DI水沖洗后氮?dú)獯蹈伞?/div>
2. 圖形檢驗(yàn)
- 光學(xué)檢測：使用SEM/AFM測量線寬、側(cè)壁角度(典型87°±2°)及粗糙度(Ra<1nm)。
- 套刻誤差補(bǔ)償：基于檢測結(jié)果修正下一次曝光的位移偏移量。
五、系統(tǒng)維護(hù)與安全規(guī)范
1. 日常維護(hù)
- 光學(xué)系統(tǒng)清潔：每周用氮?dú)獯祾呶镧R組，每月更換濾光片。
- 運(yùn)動(dòng)部件潤滑：線性導(dǎo)軌每百次使用涂抹精密潤滑油。
2. 安全操作
- 激光防護(hù)：曝光時(shí)關(guān)閉艙門，佩戴OD5+防護(hù)眼鏡。
- 危化品管理：顯影液廢液分類收集，光刻膠存儲于防爆柜。
六、異常處理指南
- 焦點(diǎn)漂移：重啟自動(dòng)調(diào)焦程序，檢查氣壓穩(wěn)定性。
- 圖形畸變：校準(zhǔn)運(yùn)動(dòng)臺螺距誤差，更新熱膨脹補(bǔ)償系數(shù)。
- 膠殘留：延長氧等離子體去膠時(shí)間至120秒。
相關(guān)產(chǎn)品
免責(zé)聲明
- 凡本網(wǎng)注明“來源：化工儀器網(wǎng)”的所有作品，均為浙江興旺寶明通網(wǎng)絡(luò)有限公司-化工儀器網(wǎng)合法擁有版權(quán)或有權(quán)使用的作品，未經(jīng)本網(wǎng)授權(quán)不得轉(zhuǎn)載、摘編或利用其它方式使用上述作品。已經(jīng)本網(wǎng)授權(quán)使用作品的，應(yīng)在授權(quán)范圍內(nèi)使用，并注明“來源：化工儀器網(wǎng)”。違反上述聲明者，本網(wǎng)將追究其相關(guān)法律責(zé)任。
- 本網(wǎng)轉(zhuǎn)載并注明自其他來源（非化工儀器網(wǎng)）的作品，目的在于傳遞更多信息，并不代表本網(wǎng)贊同其觀點(diǎn)和對其真實(shí)性負(fù)責(zé)，不承擔(dān)此類作品侵權(quán)行為的直接責(zé)任及連帶責(zé)任。其他媒體、網(wǎng)站或個(gè)人從本網(wǎng)轉(zhuǎn)載時(shí)，必須保留本網(wǎng)注明的作品第一來源，并自負(fù)版權(quán)等法律責(zé)任。
- 如涉及作品內(nèi)容、版權(quán)等問題，請?jiān)谧髌钒l(fā)表之日起一周內(nèi)與本網(wǎng)聯(lián)系，否則視為放棄相關(guān)權(quán)利。
聯(lián)系我們
400-875-1717 （周一至周五 8:30-17:30）關(guān)注我們
-
化工儀器網(wǎng)APP
-
儀器優(yōu)選APP
Copyright chem17.com All Rights Reserved 法律顧問：浙江天冊律師事務(wù)所 賈熙明律師
-
全年征稿/資訊合作
0571-87759900
點(diǎn)我咨詢 -
微信公眾號
隨時(shí)掌握行業(yè)動(dòng)態(tài)
采購中心
采購專員1對1咨詢