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            中國國家電子超純水規(guī)格GB/T1146.1-1997

            來源:成都唐氏康寧科技發(fā)展有限公司   2010年09月02日 09:55  

            級別
                    指標(biāo) 
             
            EW-I
             
            EW-II
             
            電阻率MΩ.cm(25℃)
             
            18以上(95%時間)不低于17
             
            15(95%時間)不低于13
             
            硅≤µg/l
             
            2
             
            10
             
            >1µM微粒數(shù)≤個/ml
             
            0.1
             
            5
             
            細(xì)菌個數(shù)≤個/ml
             
            0.01
             
            0.1
             
            銅≤µg/l
             
            0.2
             
            1
             
            鋅≤µg/l
             
            0.2
             
            1
             
            鎳≤µg/l
             
            0.1
             
            1
             
            鈉≤µg/l
             
            0.5
             
            2
             
            鉀≤µg/l
             
            0.5
             
            2
             
            氯≤µg/l
             
            1
             
            1
             
            硝酸根≤µg/l
             
            1
             
            1
             
            磷酸根≤µg/l
             
            1
             
            1
             
            硫酸根≤µg/l
             
            1
             
            1
             
            總有機碳≤µg/l
             
            20
             
            100

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