COSMOS新宇宙PS-8M半導體工廠用氣體檢測儀PS-8N

COSMOS新宇宙PS-8M半導體工廠用氣體檢測儀PS-8N

COSMOS新宇宙PS-8M半導體工廠用氣體檢測儀PS-8N

 Cosmos型氣體檢測儀PS-8 系列

特點/用途/產品外觀 

規格 

下載 

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特征

半導體工廠用氣體檢測儀

采用替代校準傳感器單元的“Cosmos 系統*”

我們專有的熱線半導體氫化物傳感器具有較長的使用壽命（即將推出）

可視性出色的大型液晶顯示屏讓您一眼就能掌握現場情況

兼容 PoE，減少布線并輕松無縫連接到 PLC

前部可輕松更換傳感器

通過使用子單元/擴展單元，您可以根據所用氣體的類型和數量組合傳感器。

*Cosmos系統

于1997年推出，是一種無需在安裝現場進行氣體校準，并通過回收傳感器盡可能降低運行成本的系統。

目的

用于檢測半導體工廠的半導體材料氣體泄漏

◆便攜式（Cosmos型）半導體材料氣體檢測儀　XPS-7II

◆便攜式半導體材料氣體檢測儀　XP-703DIII

規格

模型 主機：PS-8N、PS-8M

子機：PS-8S 

兼容傳感器原理 恒電位電解、熱絲半導體、原電池 

采樣方法 泵吸入式（約0.5L/min±20%自動吸入流量控制） 

被檢測氣體 根據規格 

檢測范圍 根據規格 

展示 單色LCD全點陣顯示屏

氣體濃度：5位顯示（帶單位）

其他：氣體名稱顯示、流量狀態顯示、報警（第1級和第2級）狀態顯示、故障顯示

※PS-8S無此功能。顯示在主機上 

報警設定值 根據規格 

報警準確率 可燃氣體：相同條件下報警設定值的±25%

有毒氣體：相同條件下報警設定值的±30%

氧氣缺乏：相同條件下±1vol% 

延遲警告 ?可燃氣體：警報設定值的1.6倍時，30秒內

?有毒氣體：警報設定值的1.6倍時，60秒內

?氧氣不足：濃度為10vol%時（20±2℃時），5秒內達到18vol%為止

（上述所有氣體的配管長度及連通時間均除外） 

報警顯示 ?氣體警報第 1 級：警報 1 LED（紅色）閃爍，LCD 屏幕顯示 ALARM 1

?氣體警報第 2 級：警報 2 LED（紅色）閃爍，LCD 屏幕顯示 ALARM 2 

外部輸出 [數字信號*1]

PS-8M：以太網10BASE-T/100base-Tx（Modbus/TCP）

Modbus/TCP（連接臺數取決于系統配置）

最大傳輸距離100m（至HUB）

PS-8N、PS-8S：無

*PS-8N：使用擴展單元MR模塊時為RS485（Modbus-RTU）

[氣體濃度模擬信號*2]

PS-8N、PS-8M：DC4-20mA（與電源共用負 子）（輸出精度：FS±0.5%以內）

*故障報警時0.6mA以下 *包括配線電阻在內300Ω以下

[組氣體報警接點（第1級和第2級）、組故障報警接點*3]

各1a無電壓接點/自動恢復

*額定負載AC125V 0.5A或DC30V 1.0A（電阻負載）

*單獨接點輸出需要擴展單元 

防爆性能 非防爆 

工作溫濕度范圍 0℃至40℃（但無急劇變化）、30至85％RH（但無凝露） 

所用電源 ?PS-8N：DC24V±10%

?PS-8M：DC24V±10%或PoE（以太網供電，IEEE 802.3at）

?PS-8S：由主機供電 

功耗*4 CDS-7：3.5W（最大5.2W）

CDS-7（催化轉化型）：4.0W（最大5.9W）

COS-7：3.5W（最大5.2W）

CHS-7：4.0W（最大5.9W） 

尺寸、重量 ?PS-8N、PS-8M：W70mm×H124mm×D172mm（不含突起）、約850g（不含傳感器）

?PS-8S：W70mm×H124mm×D172mm（不含突起）、約770g（不含傳感器單元） 

*1 僅可使用以太網或擴展單元 Modbus-RTU。

*2 主單元的模擬輸出僅供主單元使用。子單元上安裝的傳感器的模擬輸出需要擴展單元（AO 模塊）。

擴展單元（AO 模塊）也可從主單元上安裝的傳感器輸出模擬量，從而實現多芯連接。

*3 使用子單元安裝兩個或多個傳感器并使用單獨觸點輸出時，需使用擴展單元（DO 模塊）。

在這種情況下，主單元上安裝的傳感器的單獨輸出將從擴展單元輸出（主單元的觸點為集合輸出）。

*4 同時使用模擬輸出和數字輸出時，功耗會增加。