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            化工儀器網>產品展廳>物理特性分析儀器>表面/界面性能測定儀>開爾文探針系統> 英國KP開爾文探針WF

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            英國KP開爾文探針WF

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            昱臣半導體技術(香港)有限公司是專業的半導體及微電子領域儀器設備供應商,昱臣半導體技術(香港)有限公司所代理的儀器設備廣泛用于高校、研究所、半導體企業。

            昱臣半導體技術(香港)有限公司目前代理的主要產品包括:

            - 霍爾效應測試儀(Hall Effect Measurement System);

            - 快速退火爐(RTP);

            - 回流焊爐,真空燒結爐(Reflow Solder System);

            - 探針臺(Probe Station),低溫探針臺(Cryogenic Probe Station);

            - 貼片機(Die Bonder),劃片機(Scriber),球焊機/鍥焊機(Wire Bonder);

            - 原子層沉積系統(ALD),等離子增強原子層沉積設備(PEALD);

            - 磁控濺射鍍膜機(Sputter),電子束蒸發鍍膜機(E-beam Evaporator),熱蒸發鍍膜機(Thermal Evaporator),脈沖激光沉積系統(PLD) ;

            - 低壓化學氣相沉積系統(LPCVD),等離子增強化學氣相沉積系統(PECVD),快速熱化學氣相沉積系統(RTCVD);

            - 反應離子刻蝕機(RIE),ICP刻蝕機,等離子體刻蝕機;

            - 致冷機/低溫恒溫器(Cryostat/Cryocooler);

            - 加熱臺、熱板、烤膠臺 (Hot Chuck / Hot Plate);

            - 掃描開爾文探針系統(Kelvin Probe),光反射膜厚儀(Reflectometer);

            - 高溫超導磁體(HTS Magnet),快速場循環核磁共振弛豫測試儀(FFC Reflexometer);






            原子層沉積系統,快速退火爐,PECVD,刻蝕機

            產地類別 進口 應用領域 化工,電子/電池,綜合

            開爾文探針(Kelvin Probe)是一種非接觸無損震蕩電容裝置,用于測量導體材料的功函數(Work Function)或半導體、絕緣表面的表面勢(Surface Potential)。

            材料表面的功函數通常由最上層的1-3層原子或分子決定,所以開爾文探針是的表面分析技術。

            我們的開爾文探針系統包括:

            □   單點開爾文探針(大氣環境及氣氛控制環境);

            □   掃描開爾文探針(大氣環境及氣氛控制環境);

            □   超高真空(UHV)開爾文探針;

            □   濕度控制的腐蝕開爾文探針;


             

            掃描開爾文探針系統 (ASKP)

                ASKP系統是一款可以被大多數客戶所接收掃描開爾文探針系統,它是在SKP基礎之上包括了彩色相機/TFT顯示器、2毫米和50微米探針、外部數字示波鏡等配置,其規格如下:

            □    2毫米,50微米探針;

            □    功函數分辨率 1-3 meV(2毫米針尖),5-10 meV(50微米針尖);

            □    針尖到樣品表面高度可以達到400納米以內;

            □    表面勢和樣品形貌3維地圖;

            □    探針掃描或樣品掃描選配;

            □    彩色相機、調焦鏡頭、TFT顯示器和專業的光學固定裝置;

            □    參考樣品(帶相應的掃描開爾文探針系統的形貌);

            □    備用的針尖放大器;

            □    24個月超長質保期;




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