中科科儀掃描電鏡

簡介
掃描電鏡作為一種通用大型科學儀器，是人類認識、探索微觀重要的工具，是肉眼觀察和光學顯微鏡觀測的延伸。人類眼睛的分辨率大約0.2毫米，可以看到一根頭發絲的粗細、一張紙的厚度；借助于光學顯微鏡可以看到0.2微米的這個尺度，可以看到細胞、細菌的結構等；而借助掃描電子顯微鏡，就可以觀察到納米級尺度，可以觀測到病毒、半導體器件的納米結構等。

掃描電鏡廣泛應用到材料科學、生命科學、航天航空、環境保護、半導體制造等領域，解決微米至納米尺度的微觀形貌觀測以及微區成分分析問題，為我國前沿科學研究、重大工程和戰略新興產業的發展提供了重要支撐。

KYKY-EM6 900 鎢燈絲掃描電鏡
產品特點

• 具備較高分辨率，滿足大多數樣品的微觀形貌測試

• 翻開式預對中鎢絲陰極，更換燈絲方便

• 成像效果優良，細節清晰，景深大

• 樣品倉室可多接口擴展，滿足諸多原位測試，以及多功能嵌入

• 中英文菜單，一鍵切換

• 自動功能：電子槍加熱、偏壓、對中、聚焦、亮度、對比度、消像散、像散記憶等。

• 自動校正，自動故障檢測

技術參數

分辨率   3nm@30kV（SE）
樣品臺    自動樣品臺
加速電壓  0～30kV連續可調
探測器   高真空二次電子探測器、半導體四分割背散射電子探測器、CCD
燈絲    六硼化鑭（選配）

電子光學鏡筒部分： 800×800×1850(mm)
電器柜控制部分： 1340×850×740(mm)

優勢

1.分辨率高、成像質量好

2.翻開式預對中鎢絲陰極、選配六硼化鑭燈絲

3.中英文操作界面，具有一鍵成像功能

4.低維護、維修成本

KYKY-EM 6900LV 鎢燈絲掃描電鏡

產品特點

• 具備較高分辨率，滿足大多數樣品的微觀形貌測試，尤其適合不便噴涂導電膜的試樣

• 翻開式槍室結構鎢絲陰極，更換燈絲方便

• 結構可實現樣品室低真空氛圍（10-270Pa），有效降低電荷積累

• 成像效果優良，細節清晰，景深大

• 中英文菜單，一鍵成像

• 易操作，低故障，適合多試樣測試

• 自動功能：電子槍加熱、偏壓、對中、聚焦、亮度、對比度、消像散、像散記憶等

• 自動校正，自動故障檢測

技術參數
分辨率   3nm@30KV（SE，高真空）； 6nm@30KV（BSE，高、低真空）
放大倍率 8～300000 倍
電子槍 翻開式預對中鎢絲陰極
加速電壓  0～30kV連續可調，0-10kV步進量為100V，10kV以上步進量為1kV
中英文菜單  具有一鍵切換功能
低真空模式  10~270Pa，真空切換時間小于90秒
樣品臺  四軸自動樣品臺
電子光學鏡筒部分： 800×800×1850(mm)
電器柜控制部分： 1340×850×740(mm)

特性

1）具備低真空功能

2）分辨率高、成像質量好

3）翻開式預對中鎢絲陰極、選配六硼化鑭燈絲

4）中英文操作界面，具有一鍵成像功能

選配件： EBL、高低溫臺、納米操作臺、拉伸臺
選配探測器： EBSD、EDS、CL

應用領域
電池材料、半導體、復合材料、高分子、動植物、微生物、粉末冶金、礦物、金屬行業、建筑材料、化工材料、陶瓷材料。

KYKY-EM8000 性能參數

分辨率
1.5 nm(15KV); 5nm(3KV)

放大倍數
15x~500,000x

加速電壓
0 ~ 30KV

電子槍
Schottky肖特基場發射電子槍

自動調整功能
聚焦、亮度/對比度、消像散、電子束對中等

真空系統
高真空二次電子探測器（具備保護探測器探頭不被碰撞的功能）

行程
X0 ~ 80mmY0 ~ 60mmZ0 ~ 50mmR360°T-5° ~ 90°

探測器
SE探測器，BSE探測器（可選），X-ray能譜儀（可選），EBSD（可選）

KYKY-EM8100 場發射掃描電子顯微鏡

具有高性能肖特基場發射電子槍，低加速電壓成像，并具備超大樣品腔室和多探測器擴展接口，適用于多種原位測試。該設備具備長時間工作的穩定性，能直接觀測非導體試樣或電子束敏感試樣而無需噴鍍導電膜。其分辨率可達0.9nm（30kV），放大倍率高達2-3000000倍，適用于電池材料、半導體、復合材料等多個領域的研究。

產品特點：

高性能肖特基場發射電子槍，亮度高、單色性好、束斑小、壽命長

具備的低加速電壓成像性能

超大樣品腔室，更多擴展接口，滿足多探測器、多功能聯用、多嵌入原位測試

束流穩定，滿足長時間工作需求

非導體試樣或電子束敏感試樣可不噴涂導電膜直接觀測



技術指標：

分辨率    0.9nm@30KV（SE）; 3.0nm@1KV（SE） ; 2.5nm@30KV （BSE）
放大倍率   2-3000000 倍
加速電壓   0.2～30kV
電子槍    肖特基熱場發射電子槍 
樣品臺    五軸全自動預對中樣品臺  
透鏡系統   多級高性能透鏡系統，低像差錐形物鏡    
探測器    高真空二次電子探測器（具備防碰撞功能）    

應用領域：

電池材料、半導體、復合材料、高分子、動植物、微生物、粉末冶金、礦物、金屬行業、建筑材料、化工材料、陶瓷材料

中科科儀掃描電鏡行業應用

半導體

化工

建筑地質

生命科學

陶瓷粉末

新能源

冶金礦業