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體積表面電阻率測試儀——操作流程以及關(guān)鍵原理分析
閱讀：265發(fā)布時間：2025-3-24
體積表面電阻率測試儀核心操作流程與關(guān)鍵原理
1. 設(shè)備初始化與調(diào)零
電源與預(yù)熱：
確保電源為220VAC/50Hz，接地可靠（防止漏電干擾）。
開機后預(yù)熱10分鐘，消除電路溫漂，提高穩(wěn)定性（晶振電路需熱平衡）。
調(diào)零校準(zhǔn)：
原理：消除設(shè)備本底電流（如PCB漏電流、放大器偏置電流）。
操作：斷開所有測試線（Rx開路），電流量程置10?檔，調(diào)節(jié)調(diào)零旋鈕使顯示為“0000"。
風(fēng)險：帶負載調(diào)零會導(dǎo)致測量誤差（例：若未調(diào)零，1nA本底電流將導(dǎo)致在10?Ω量程時誤差達100%）。
2. 樣品準(zhǔn)備與電極配置
樣品要求：
尺寸：需覆蓋整個“不保護電極"（防止邊緣漏電，常規(guī)尺寸Φ50±5mm）。
厚度測量：需用千分尺精確至±0.01mm（厚度輸入錯誤10% → 電阻率誤差10%）。
三電極系統(tǒng)原理：
被保護電極（藍色）：測量主電流通路，接高阻計輸入端。
不保護電極（中間黑）：施加電壓，形成均勻電場。
保護電極（左側(cè)黑）：吸附邊緣雜散電流（保護環(huán)設(shè)計提升精度>10%）。
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