在制造過(guò)程中，半導(dǎo)體表面用超純水清洗，用于去除殘余的酸離子，進(jìn)而避免產(chǎn)生金屬腐蝕的現(xiàn)象，因此洗滌用水中的陰離子分析對(duì)于產(chǎn)品質(zhì)量控制至關(guān)重要。這需要在幾個(gè)PPt水平下進(jìn)行陰離子檢測(cè)。下圖所示的是應(yīng)用離子色譜儀對(duì)半導(dǎo)體洗滌用水中的微量無(wú)機(jī)離子的分析。

 

分析靈敏度進(jìn)一步提高 
優(yōu)良的擴(kuò)展性和節(jié)省空間的設(shè)計(jì) 
可對(duì)應(yīng)抑制型/非抑制型檢測(cè) 
支持有效性