由于現在電子產品越來越精密，因此不僅僅是潔凈室中的無機微粒，而且包括室內建筑材料，儀器制造設備，以及源自人體的有機物成分都納入了監控指標。

 

潔凈室中常用甲氧基丙酮, 二氯氟甲烷和醋酸作為溶劑。二甲基硅低聚物（N = 5）是潔凈室施工過程中使用的填隙料的揮發性成分之一。

島津氣相色譜質譜聯用儀

GCMS將氣相色譜和質譜結合起來，可以地測定出這個物質是什么（定性）以及有多少（定量）。它通常用在不用應用中的痕量成分分析中，包括環境，電子設備和半導體，化學，藥品，食品，殘留農藥以及生物化學等。

 

有效應對以往GC或GCMS難以分析的天然產物等復雜樣品的分離分析。

· 食品
· 香精香料
· 環境
· 石油化工等