摘要：本文用 HR-PQ9000，ICP 法測定了＞99.95%氮化鋁（AlN）中的雜質成分。數據 表明，雖是堿溶，試液含鹽量＞20g/L，基體干擾較大，標準曲線濃度低達 0.010～0.50 μg/mL，但有基體匹配的 5 點校正的線性擬合系數 R=0.9995～0.99999，RSD＜2.9%，消除 了基體干擾和影響；同一元素不同譜線的測定結果比對得較好；兩個平行樣也平行得較好， 充分顯示了 PQ9000 的高分辨率、高靈敏度、高穩定性和材料純度分析的*能力。 

耶拿PQ9000高分辨率ICP-OES：高分辨率電感耦合等離子體發射光譜儀，蔡司技術光學系統，棱鏡、中階梯光柵兩級 色散，光學分辨率 0.003nm，波長范圍 160～900nm，波長準確度 0.0004nm。垂直炬管，雙向觀 測，氬氣反吹消除尾焰，尾焰消除*。軸向、軸向擴展、側向、側向擴展 4 種測量方式，適合 各類（有機、高鹽）樣品分析，滿足不同濃度的同時測量。高量子效率和紫外高靈敏度的新一代 CCD 檢測器，像素分辨率 0.002nm，同時記錄元素線與其直接光譜環境，自動扣除背景。自激 式、40.68MHz、0.7～1.7KW 功率可調射頻發生器，各路氣體均用質量流量控制器（MFC）控 制，等離子體強勁穩定。吹掃光室、檢測器用氬氣又到等離子體使用，既能持續吹掃，提高靈敏 度，又不額外消耗氬氣，運行成體低。組合式炬管，卡擦式定位，操作方便。儀器無需預熱，開 機即測。