布魯克斯SLA5800 系列橡膠密封熱式質量流量計和控制器

布魯克斯SLA5800 系列橡膠密封熱式質量流量計和控制器
SLA5800 系列的特點是高精度、高零點穩定性以及高重復性，而上述特性正是行業者對質量流量測量和控制技術的需求所在。產品設計采用先進的可配置多氣體/多量程功能，相較于競爭產品擁有更好的零點漂移參數并且經確證能夠更持久地保持出廠校準狀態和精度。
型號： SLA5850 / SLA5851 / SLA5853 / SLA5860 / SLA5861 / SLA5863

特點

長期零點穩定性，每年變動小于滿量程的 0.2%

高精度

流量范圍寬 - 從0.003一直到 2500 lpm

最高耐壓等級 - 高達 1500 psi/100 bar（可選：4500 psi/310 bar）

可編程多氣體/多量程功能

可單獨輕松訪問的診斷/維護端口

包括 DeviceNet™、EtherCAT®、Profibus® 和 RS-485加模擬接口在內的各種通信選擇

采用模塊化設計，無論在工廠或是現場使用均非常易于維護

優勢

傳感器的長期穩定性可降低對維護和定期校準的要求，從而降低總體經營成本

布魯克斯儀器的熱感測技術可提供的信噪比性能從而提升低設定值條件下的測量和控制精度

選擇一個設備平臺即可滿足不同氣體和流量范圍的需求

可存儲并預先設定多達六種氣體校準信息，用戶僅需一臺設備即可在不同氣體和量程間輕松切換并減少庫存

對用戶開放的服務端口簡化了安裝、故障排除和診斷操作并且不會干擾流量控制器工作

耐用、穩定的金屬頂蓋可防止設備在安裝期間受損

多協議通信接口可簡化向現有系統的集成操作

基于國際標準的高級計量系統和初級校準系統可確保設備精度

應用

化學品和石化催化劑研究和試驗過程

實驗室和分析系統

燃料電池技術

生命科學實驗室

規格：
產品類型：Mass Flow Controller
區別：Wide Flow & Pressure RangeSuperior Long-term Stability High Accuracy
性能
流量范圍-滿量程容量：003 - 2500 slpm
精度：

17025 Certified Devices (Includes linearity, excludes calibration system measurement uncertainty, per SEMI E69)

±0.6% of SP (20-100% FS)

±0.12% of FS (<20% FS)

1100 slpm up to 2500 slpm: ±0.6% of FS

Standard Devices (includes uncertainty from reference standards

±0.9% of SP (20-100% FS)

±0.18% of FS (2-20% FS)

1100 slpm up to 2500 slpm: ±1.0% of FS

重復性：0.20% SP
線性：Included in accuracy
響應時間-常閉：

0.003 - 100 slpm: <1 second

100 - 2500 slpm: <3 seconds

多氣體多量程：Standard
最大壓力：

.003-200 slpm: 1500 psi/103 bar

100 - 2500 slpm: 1000 psi/70 bar

Optional 4500 psi/310 bar on 50 slpm max device

控制范圍：

1-50 slpm: 100:1 Turndown for F.S.

50-2500 lpm: 50:1 Turndown for F.S.
零點穩定性:< 0.2% F.S. per year
溫度系數:

Zero: <0.05% of F.S per oC

Span: <0.1% of S.P. per oC

壓力系數:0.03% per psi (0-200 psi N2)
靈敏度:<0.2% F.S. maximum deviation from specified accuracy after re-zeroing
大溫度:65oC
壓差范圍:

Controllers

.003 - 50 lpm: 5 psi / 0.35 bar

50 - 100 lpm: 10 psi / 0.69 bar

500 lpm: 7.5 psi / 0.52 bar

1000 lpm: 14.5 psi / 1.00 bar

2500 lpm: 35.0 psi / 2.41 bar

漏率:1x10-9 atm cc/sec He
密封材料:Elastomer Seal
接液材料:316L Stainless SteelHigh Alloy Stainless SteelViton® FluoroelastomersBunaNKalrez®Teflon®/Kalrez®EPDM
閥門:Normally ClosedNormally OpenMeter (no valve)

診斷

診斷能力Available

狀態燈

MFC Health, Network Status

報警

Sensor Output

Control Valve Output

Over Temperature

Power Surge/Sag

Network Interruption

診斷/服務端口RS485 via 2.5mm jack

電氣

模擬通訊

0-5 V, 1-5 V, 0-10 V, 0-20 mA, 4-20 mA

數字通訊DeviceNet™

EtherCAT®

EtherNet/IP™

FOUNDATIONTM Fieldbus

Profibus®

PROFINET

RS-485 

電氣連接

DeviceNet™: 1xM12 with threaded coupling nut (B)

EtherCAT®, EtherNet/IP™: 1x5-pin M8 with threaded coupling nut/2xRJ45

Profibus®: 1x15-pin Male Sub-D/1x9-pin female Sub-D

RS485: 1 x 15-pin Male Sub-D, (A)

電源-功耗

Analog / Profibus® / RS-485

Valve Orifice > 0.032": 8 Watts

Valve Orifice ≤ 0.032": 5 Watts

Without Valve: 2 Watts

DeviceNet™ / EtherNet/IP™

Valve Orifice > 0.032": 10 Watts

Valve Orifice ≤ 0.032":  7 Watts

Without Valve: 4 Watts (DeviceNet™), 3 Watts (EtherNet/IP™)

EtherCAT®

Valve Orifice > 0.032": 8.5 Watts

Valve Orifice ≤ 0.032": 5.5 Watts

Without Valve: 2.5 Watts

承諾

認證和批準

ISO/IEC 17025:2005

CE: EMC Directive 2014/30/EU

Directive 2011/65/EU

UL (Recognized):

Class I, Div 2, Group A, B, C, D

Class I, Zone 2, IIC T4

Class II, Zone 22

ATEX: II 3 G Ex nA IIC T4 Gc

IECEx: II 3 G Ex nA IIC T4 Gc

KOSHA: Ex nA IIC T4

符合環保要求

RoHS Directive (2011/65/EU)

REACH Directive EC 1907/2006

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