利用熱電偶的電勢與加熱元件的溫度有關，元件的溫度又與氣體的熱傳導有關的原理來測量真空度的真空計。
作原理
熱電偶接在白金或鎢的細線上。這段細線通過電流后會發熱。發出的熱量通過周圍氣體分子的熱傳導,或細線本身的固體熱傳導,或熱輻射放出。利用氣體分子承擔的熱傳導量與壓力成正比的特點是此真空計的原理。
如果保持細線的發熱量即保持定的電流,則周圍壓力的時候氣體奪走的熱量較多,致使細線的溫度較低。反過來周圍壓力低的時候細線的溫度會升。這種溫度的變化通過熱電偶檢測出來,將熱電偶的起電力換成壓力之后即可知真空腔內的壓力。
使用注意事項
熱偶真空計的校準
熱偶真空計在使用前也需要行校準，熱偶規管在未開封前真空度已抽至為10^-2~10^-3Pa。將熱偶規管與儀器連接，使管座垂直向上，接通儀器電源開關，預熱10min,"熱偶轉換"開關置"加熱電流"位置，調節"加熱電流"旋鈕，使加熱電流達到規定值(加熱電流標注在每支熱電偶真規管的管座上或使用說明書中)，熱偶真空計針滿度，持續1min，再將"熱偶選擇"開關放在"測量"位置上，這樣反復測定三次，成熱偶真空計的校準作。
在熱偶規管內
氣體導熱是氣體與熱絲碰撞的結果且與熱絲表面狀況有關。因此，應保持管內及熱絲表面狀清潔，般不要在大氣壓狀態下對熱絲加熱，盡量減少油蒸氣污染。
熱偶規管對電磁場敏感，測量時應避免外界電磁場干擾，如測量中不要使頻火花移近熱偶規管。
波爾登規(Bourdon)
細的銅管受氣體壓力不同會有舒展現象，會帶動杠桿和齒輪旋轉，使得針示在不同刻度上，即可讀出相應的氣壓值。這種規的測量范圍般在100Pa至1atm。
