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產(chǎn)品名稱	TXRF 3760 系列
技術(shù)	全內(nèi)反射 X 射線熒光（TXRF）
用	從 Na 到 You 的元素分析以測量晶圓污染
科技	帶無液氮檢測器的 3 光束 TXRF 系統(tǒng)
主要組件	適用于最大 200 mm 晶圓的 XYθ 樣品臺系統(tǒng)、真空晶圓中的機器人傳輸系統(tǒng)、ECS/GEM 通信軟件
選擇	Sweep TXRF 軟件（能夠映射晶圓表面的污染物分布以識別“熱點"）。 ZEE-TXRF 功能可實現(xiàn)零邊沿排除測量）
控制（PC）	內(nèi)部 PC、MS Windows®作系統(tǒng)
本體尺寸	1000 （寬） x 1760 （高） x 948 （深）毫米
質(zhì)量	100 kg（主機）
權(quán)力	三相 200 VAC 50/60 Hz，100 A

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