聯(lián)系電話
高斯摩(成都)國際貿(mào)易有限公司
中級(jí)會(huì)員·1年
- 聯(lián)系人：
- 汪雅琪
- 電話：
- 86-028-87319898
- 手機(jī)：
- 13166082288
- 傳真：
- 86-028-85068959
- 地址：
- 四川成都市高新區(qū)天府大道中段500-1號(hào)東方希望天祥廣場C座4527室
- 個(gè)性化：
- www.cosimoinc.cn
掃一掃訪問手機(jī)商鋪
1. 公司背景
KOFLOC科賦樂是日本流量控制設(shè)備制造商，專注于質(zhì)量流量計(jì)（MFM）、質(zhì)量流量控制器（MFC）和精密閥門的研發(fā)生產(chǎn)，產(chǎn)品以高精度、低壓損、長壽命著稱，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、光伏、醫(yī)療和化工等領(lǐng)域。
2. 技術(shù)優(yōu)勢
熱式技術(shù)（氣體）：
基于熱擴(kuò)散原理，直接測量氣體質(zhì)量流量（無需溫壓補(bǔ)償）。
低流量靈敏度：可檢測0.1 sccm（如半導(dǎo)體工藝氣體控制）。
壓差式技術(shù)（液體）：
通過層流元件產(chǎn)生壓差，線性輸出流量信號(hào)。
耐腐蝕設(shè)計(jì)：接液部分可選316L不銹鋼、哈氏合金或PEEK材質(zhì)。
智能功能：
數(shù)字通信（RS-485、Modbus、DeviceNet）。
自診斷報(bào)警（流量超限、傳感器異常）。
3. 典型應(yīng)用場景
3.1 半導(dǎo)體制造
案例：晶圓刻蝕工藝中Cl?氣體流量控制（RK-1200系列）。
要求：流量穩(wěn)定性±0.5%，響應(yīng)時(shí)間＜1秒。
配置：鈦合金流道（耐Cl?腐蝕）+ 防爆認(rèn)證（Ex d IIC T6）。
3.2 光伏產(chǎn)業(yè)
案例：硅烷（SiH?）氣體輸送（MFC-3000系列）。
挑戰(zhàn)：硅烷易燃易爆，需杜絕泄漏風(fēng)險(xiǎn)。
方案：全焊接不銹鋼結(jié)構(gòu) + 泄漏自動(dòng)切斷功能。
3.3 醫(yī)療設(shè)備
案例：呼吸機(jī)氧氣流量監(jiān)測（Mini系列）。
關(guān)鍵參數(shù)：0.1~10 SLM范圍，醫(yī)用級(jí)潔凈度（ISO 13485認(rèn)證）。
3.4 化工流程
案例：腐蝕性液體（如鹽酸）定量添加（RK-2400系列）。
材質(zhì)選擇：哈氏合金C276流道 + PTFE密封。
4. 選型與安裝指南
4.1 選型關(guān)鍵參數(shù)
介質(zhì)類型：
氣體：需明確分子量（影響熱式傳感器校準(zhǔn)）。
液體：考慮粘度（壓差式適用＜50 cP）。
流量范圍：
實(shí)際流量應(yīng)處于量程的10%~90%（避免低端非線性區(qū)）。
環(huán)境要求：
防爆（化工）、潔凈度（醫(yī)療）、IP防護(hù)等級(jí)（戶外）。
4.2 安裝注意事項(xiàng)
氣體流量計(jì)：
安裝方向：垂直向上（避免冷凝液積聚）。
前后直管段：≥5D（前）、≥3D（后）。
液體流量計(jì)：
避免氣泡干擾（頂部安裝排氣閥）。
泵振動(dòng)隔離（軟管連接減震）。
4.3 校準(zhǔn)與維護(hù)
定期校準(zhǔn)：
氣體：使用皂膜流量計(jì)或標(biāo)準(zhǔn)氣體（如NIST可溯源）。
液體：稱重法或容積法校準(zhǔn)。
傳感器維護(hù)：
熱式：每年清潔探頭（異丙醇擦拭）。
壓差式：檢查層流元件是否堵塞。
