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渦旋式干式真空泵
什么是渦旋式干式真空泵？
兩個形狀相同的渦旋盤在中心位置略微偏移，使得它們的壁彼此呈線接觸，并且一個渦旋盤相對于另一個渦旋盤進行相對振蕩研磨運動。被困在新月形空間中的氣體被壓縮向中心，并從中心的孔中排出。
渦旋式干式真空泵的特點
從吸入口引入的氣體通過與固定渦旋盤重疊的動渦旋盤，從渦旋盤外部向內部被壓縮。壓縮過程通常設計為兩次或多次進行，從而降低振動和噪音水平。極限壓力可達1Pa。
【優點】比羅茨真空泵體積更小、價格更便宜。
【缺點】渦旋前端的密封圈磨損。
渦旋式干式真空泵的工作原理
兩個形狀相同的渦旋盤在中心位置略微偏移，使得它們的壁彼此呈線接觸，并且一個渦旋盤相對于另一個渦旋盤進行相對振蕩研磨運動。被困在新月形空間中的氣體被壓縮向中心，并從中心的孔中排出。
渦旋式干式真空泵的主要應用
真空干燥設備、理化分析設備、真空吸附輸送設備、真空熱處理爐等。
應用行業：
?半導體制造、食品行業、藥品行業、化妝品行業、?太陽能光伏行業、
?半導體：用于晶圓加工、刻蝕、薄膜沉積等環節，化學氣相沉積（CVD）過程。
渦旋干泵可以實現真空輸送，適用于粉末、顆粒等物料的輸送。
?真空干燥與包裝?：在食品、藥品、化妝品等行業的真空冷凍干燥過程中，渦旋干泵可以有效脫水，保持產品形狀和質量；同時，它還用于食品、電子產品等領域的真空包裝過程，延長產品保質期。
?太陽能光伏?：在太陽能光伏行業中，渦旋干泵用于真空封裝、真空燒結等工藝，提高光伏電池的效率和穩定性。?
?食品行業?：在食品加工中，渦旋式干式真空泵用于食品的干燥、脫水和包裝等環節。
?制藥行業?：在藥品生產中，渦旋式干式真空泵用于原料藥的干燥、結晶和分離等過程。
?化工行業?：在化工生產中，渦旋式干式真空泵用于聚合反應、蒸餾、干燥等工藝。在聚合反應中，該泵可以排除反應體系中的空氣和水分，防止反應受到干擾?。
?科研領域：真空鍍膜、材料科學研究中的高真空熱處理等。低溫物理實驗、高真空環境下的化學反應等。
環保工程：渦旋式干式真空泵用于廢氣處理和真空吸附過程，去除有害氣體和污染物。
