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它由真空泵FV-W和真空鑷子C007組成。
●無需設置單獨的泵進行吸入和排出，而是在一個系統中兼用，因此可以實現緊湊的機身。
●由于該結構將吸入和排出兩個回路連接到一個組合連接器（雙管），因此只需一根管子即可吸入和排出。
四、應用領域
▌ 半導體制造
晶圓蝕刻（10?? mbar超高真空）
鍍膜設備（分子泵+低溫泵組合）
▌ 醫療設備
MRI超導磁體抽真空
真空冷凍干燥機（-80℃工況）
▌ 科研實驗
粒子加速器（10?1? mbar）
太空環境模擬艙
▌ 工業產線
食品真空包裝（10?2 mbar）
鋰電池注液除氣泡
技術趨勢
智能化：AI預測性維護（準確率>95%）
微型化：MEMS真空泵（芯片級尺寸）
綠色技術：無氟潤滑劑應用
混合系統：渦旋+吸附泵復合抽氣
結論：真空泵作為現代工業的"真空心臟"，其技術發展直接推動半導體、新能源等產業進步。干式、節能、智能化將成為未來主流方向。
