美薩科技與大塚電子強強聯手，共拓精密儀器市場

美薩科技（蘇州）有限公司與大塚電子強強聯手，共拓精密儀器市場

——聚焦半導體檢測技術，賦能**制造升級

      蘇州——美薩科技（蘇州）有限公司（以下簡稱“美薩科技"）近日宣布與日本大塚電子（OTSUKA ELECTRONICS）達成深度合作，雙方將聯合推廣大塚電子旗下**精密檢測設備，重點布局半導體、光學薄膜及新能源電池領域，助力中國制造業智能化升級。

      美薩科技作為蘇州本土綜合性貿易商，長期專注于半導體、儀器儀表等領域的技術引進與供應鏈服務。其代理的日本品牌產品覆蓋光譜儀、膜厚檢測儀等**設備，與大塚電子的核心技術高度契合。大塚電子作為****的精密測量儀器制造商，其光譜橢偏儀、膜厚分析儀等產品在半導體工藝控制、光學薄膜研發中具有顯著優勢。

二、OPTM系列（顯微分光膜厚儀）

1. 核心參數

• OPTM-A1：230~800 nm

• OPTM-A2：360~1100 nm

• OPTM-A3：900~1600 nm

• 波長范圍：

• 膜厚范圍：1 nm~92 μm（不同型號覆蓋范圍不同）

• 測量速度：1秒/點，支持高速分析

三、用途：

     適用于界面化學、無機物、半導體、高分子、生物、藥學、醫學領域中，除了微粒子外，膜及平板狀樣品的表面科學的基礎研究、應用研究。

四、ELSZ-neo SE：納米級精準測量，賦能**材料研發

1.核心技術突破
      ELSZ-neo SE是2022年推出的ELSZ-neo系列升級版，繼承了前代產品的多角度散射技術（前方/側方/后方測量）與動態光散射法，新增以下功能：

• 高鹽濃度環境適配：通過特殊涂層設計的平板固體樣品池，實現**生理鹽水等高鹽濃度環境下的Zeta電位精準測量，突破傳統儀器在生物樣本（如蛋白質溶液、細胞外基質）中的檢測局限。

• 微流變學分析集成：新增靜態光散射模塊，可同步測量聚合物、蛋白質等樣品的粘彈性特性，為藥物遞送系統、水凝膠材料開發提供關鍵數據支持。

• 超微量樣品池：支持3μL極小樣品量檢測（上一代為130μL），大幅降低珍貴生物樣本的消耗，尤其適用于單細胞分析、體外診斷試劑研發。

2. 跨領域應用場景

• 半導體：精確分析光刻膠、介電常數材料的粒徑分布與表面電荷，優化芯片制造中的涂布工藝。

• 生物醫藥：研究納米藥物載體（如脂質體、外泌體）的穩定性，加速抗癌藥物遞送系統的臨床轉化。

• 新能源：評估鋰離子電池電解液添加劑的分散性，提升電池循環壽命與安全性。

五、OPTM系列膜厚儀：非接觸式測量革新顯示與半導體產業

1. 性能全面升級
      OPTM系列是基于顯微光譜法的非破壞性膜厚測量儀，2025年新款機型（OPTM-A1/A2/A3）在以下維度實現飛躍：

• 超廣波長覆蓋：新增900~1600nm波段（OPTM-A3），支持    SiC功率器件、紅外光學薄膜的厚度分析，填補傳統設備在寬禁帶半導體檢測中的空白。

• 亞微米級精度：最小測量光斑僅3μm（上一代5μm），可精準解析彩色濾光片（RGB層）、抗反射膜等微結構薄膜的厚度均勻性。

• 自動化集成方案：標配XY自動平臺，支持200mm×200mm范圍內多點快速映射檢測，單次測量時間縮短至1秒/點，滿足OLED面板產線的高效質檢需求。

2. 行業解決方案落地

• 顯示面板：針對OLED柔性屏的PI基底、ITO透明導電膜進行全自動化在線檢測

• 半導體：精確測量SiO?、SiN等絕緣膜的厚度及光學常數（n/k值），為FinFET、GAA晶體管工藝提供關鍵參數反饋。

• 汽車工業：檢測DLC（類金剛石碳）涂層在汽車零部件上的耐磨性。

六、技術協同與未來布局

大塚電子表示，ELSZ系列與OPTM系列的結合可形成“納米顆粒-薄膜-器件"全鏈條檢測生態：

• 材料研發階段：ELSZ-neo SE分析納米材料的粒徑與表面特性；

• 工藝控制階段：OPTM系列監控薄膜沉積均勻性；

• 成品驗證階段：兩者協同確保半導體器件、光學元件的性能達標。