稀有氣體質譜儀可以用于稀有惰性氣體Ar、He、H2、SF6及H2S等氣體的示蹤分析，可以進行Ar、He、H及其同位素的體積濃度的測定和和示蹤分析。
目前，本儀器適用于煤巖動力災害孕育及發(fā)生過程中放射性元素的析出、衰變的監(jiān)測，同時也可服務于采礦、地質、環(huán)境等學科，可進行地質年代測定（如構造變形、火山噴發(fā)、變質作用、沉積作用、巖體冷卻、山體抬升、盆地沉降）、地質及火山事件確定，以及海水、有機物及巖體中惰性氣體He等的分析。
稀有氣體質譜儀包括：氣體進樣系統(tǒng)、質譜分析系統(tǒng)、校準系統(tǒng)、控制系統(tǒng)和軟件系統(tǒng)、外設等模塊組成。
主要特點：
1、稀有氣體質譜儀可同時測量氦同位素，無需跳峰掃描，減少了分析時間，獲得了更高的精度和產出效率；
2、豐度靈敏度：由于HELIX SFT的設計，質量4對質量3的貢獻小于1ppb；
3、體積：HELIX SFT的內部體積約1400cc，這是當前技術的重要提升；
4、分辨率：低質量數接收器，通常用來測定3He，其分辨率大于700，這保證了3He能夠和兩個干擾峰HD和H分開；
5、放大器擁有不同的動態(tài)范圍范圍使大部分分析都能在長壽命的法拉第接收器上進行。
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