二合一超快SEM解決方案

Pico SEM B二合一超快掃描電鏡解決方案在FE 槍和聚光透鏡之間引入脈沖發生器，該脈沖發生器可通過皮秒級射頻電激發電子束并可保持原始掃描電鏡的光束質量，并在脈沖發生器關閉時對正常操作的影響最?。ɡ硐肭闆r下沒有）。同時采用飛秒激光泵浦樣品聯動，該解決方案結合了脈沖發生器的百皮秒時間分辨率和掃描電子顯微鏡的固有空間分辨率，可進行超高時間和空間分辨的掃描二次電子成像、背散射電子衍射等，實現對樣品的超快表征。

特點：

• 百皮秒級射頻電激發電子束

• 飛秒激光泵浦樣品聯動

規格：

• 能量范圍：2~30 keV

• 電子束頻閃率：15MHz~3GHz（電激發）

• 電子脈沖長度：100ps~period-100ps（電激發）

• 輻射安全

• 與 SEM 腔真空兼容

• 在電激發下保持 SEM 的原始固有空間分辨率。