超快SEM解決方案

Euclid Techlabs LLC 提供獨立開發的超快脈沖發生器系統，將傳統的 SEM 轉換為時間分辨 SEM。 該脈沖發生器可適用于 TFS Verios 5 XHR SEM，從而將頻閃時間分辨率引入現有 SEM 系統，而不會降低其原有性能。為了保持原始光束質量，并在脈沖發生器關閉時對正常操作的影響最小（理想情況下沒有），我們可能建議將脈沖發生器插入 FE 槍和聚光透鏡之間。 脈沖發生器與原始 SEM 腔具有相同的真空接口。 控制單元通過鎖相延遲線向脈沖發生器（電和光）提供控制信號，并為樣品提供同步的電或光信號。

特點：

• 百皮秒級射頻電激發電子束

規格：

• 能量范圍：2~30 keV

• 電子束頻閃率：15MHz~3GHz（電激發）

• 電子脈沖長度：100ps~period-100ps（電激發）。

• 輻射安全

• 與 SEM 腔真空兼容

• 在電激發下保持 SEM 的原始固有空間分辨率。